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空气悬浮离心鼓风机是精密制造行业超高洁净度生产场景的核心配套设备,广泛应用于半导体晶圆制造、锂电池生产、光伏硅片加工、精密电子喷涂、高端电镀、精密机械加工、光学仪器制造等高端行业,核心用于洁净车间送风、极片干燥系统送风、工艺废气处理、槽液曝气搅拌、洁净车间正压维持、无尘除尘等核心环节,适配精密制造对生产环境洁净度、设备运行稳定性、气流参数精度的严苛要求,助力企业生产高品质产品。
精密制造领域对气源的洁净度、稳定性、精度要求极高,传统风机带油运行易产生油污颗粒,污染生产环境和产品,导致产品良率下降,增加生产成本;气源压力波动大,无法保障精密生产工艺的一致性,影响产品性能与质量;设备运行产生的振动和噪音,会干扰精密加工过程,影响产品精度,甚至损坏精密加工设备。本设备凭借动压空气悬浮技术实现全程无油洁净送风,不含任何油污杂质,输出气流洁净度可达Class 100级,完全满足半导体、锂电、光伏等行业的超高洁净度生产要求,杜绝气源污染导致的产品不良,大幅提升产品良率(可提升5%-10%)。
该设备输出气流压力稳定无波动(压力偏差≤±3%),可保障精密生产工艺的稳定性与一致性,适配不同生产环节的风量风压需求,比如在锂电池极片干燥环节,稳定的气流能确保极片干燥均匀,提升电池的容量和循环寿命;在半导体晶圆制造中,洁净气源可避免灰尘、油污对晶圆的损伤,保障晶圆的加工精度;支持宽范围变频精准调节,无振动(振动值≤2.5mm/s)、低噪音(≤70dB),不会对洁净车间造成二次污染,也不会干扰精密加工过程;可无缝接入工厂智能化生产系统,实现远程监控与参数调节,相比传统设备节能30%以上,大幅降低精密制造环节的生产用电成本,是高端精密制造场景的优选洁净气源设备。

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